Метилсилан

Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Перейти к: навигация, поиск
Метилсилан
Общие
Систематическое
наименование
Метилсилан
Хим. формула CH3-SiH3
Рац. формула СH6Si
Физические свойства
Молярная масса 46,14 г/моль
Плотность газ 1,93 г/л
0,6277-57 г/см³
Термические свойства
Т. плав. -156,8;
-157 °C
Т. кип. -57,5;
-56,9 °C
Классификация
Рег. номер CAS 992-94-9
PubChem 70434
Рег. номер EINECS 213-598-5
SMILES
ChemSpider 63613
Приводятся данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иначе.

Метилсилан — органическое соединение, алкилпроизводное моносилана, воспламеняющийся, бесцветный газ с неприятным запахом, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Получение[править | править вики-текст]

~\mathsf{2SiH_3Cl + Zn(CH_3)_2 \ \xrightarrow{}\ 2CH_3\text{-}SiH_3 + ZnCl_2 }
~\mathsf{4CH_3\text{-}SiCl_3 + 3Li[AlH_4] \ \xrightarrow{}\ 4CH_3\text{-}SiH_3 + 3LiCl + 3AlCl_3 }
~\mathsf{3CH_3\text{-}SiH(OCH_2CH_3)_2 \ \xrightarrow{}\ CH_3\text{-}SiH_3 + 2CH_3\text{-}SiH(OCH_2CH_3)_3 }

Физические свойства[править | править вики-текст]

Метилсилан — бесцветный газ с неприятным запахом, воспламеняется на воздухе, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Химические свойства[править | править вики-текст]

  • Термическое разложение метилсилана используют для получения плёнок карбида кремния:
~\mathsf{CH_3\text{-}SiH_3 \ \xrightarrow{T}\ CSi + 3H_2 }
  • Реагирует с галогенами:
~\mathsf{CH_3\text{-}SiH_3 + Cl_2 \ \xrightarrow{}\ CH_3\text{-}SiH_2Cl + HCl }

Применение[править | править вики-текст]

  • Используется в качестве исходного сырья для газофазного осаждения карбида кремния при изготовлении композиционных материаллов, а также в процессе получения фоторезистов и других полупроводниковых материалов.
  • Поставляется в баллонах под давлением 13 атм.
  • Цена на метилсилан ≈4 000$/кг.

Литература[править | править вики-текст]

  • Химическая энциклопедия / Редкол.: Кнунянц И.Л. и др.. — М.: Советская энциклопедия, 1990. — Т. 2. — 671 с. — ISBN 5-82270-035-5.