Молекулярный насос

Молекулярный насос Хольвека

Молекулярный насос Хольвека используется как последняя ступень высоковакуумного насоса, ротор представляет собой гладкий цилиндрический барабан. Каналом для откачки газа служат винтовые канавки, профрезерованные в разных направлениях от центра на внутренней поверхности статора, причём глубина нарезки к краям уменьшается. В лучших моделях с зазором между ротором и статором 0,025 мм при форвакуумном давлении от 70 до 0,01 мм рт. ст. насос создавал перепад давлений около 7·10⁷.

По тому же принципу было сделано множество молекулярных насосов, насос Зигбана имел в качестве ротора гладкий диск на статоре была нарезана спиральная канавка которая к краю диска тоже изменяла глубину. При увеличении зазоров эффективность откачки уменьшается. Также к недостаткам относится большая чувствительность к засорённости воздуха и износу подшипников.

Данные проблемы привели к созданию молекулярного насоса с большими зазорами около 1 мм, получившего название турбомолекулярный насос. Данные насосы использовались в основном в исследовательских лабораториях.

Литература

• Борисов В.П. Глава 4. Формирование основ современной вакуумной техники // Вакуум: от натурфилософии до диффузионного насоса. — М.: НПК «Интелвак», 2001.