Особенность-ориентированное позиционирование

Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Перейти к: навигация, поиск

Особенность-ориентированное позиционирование (ООП, англ. FOP — feature-oriented positioning)[1][2][3][4][5] — способ прецизионного перемещения зонда сканирующего микроскопа по исследуемой поверхности, при котором особенности (объекты) поверхности используются в качестве опорных точек для привязки зонда микроскопа. ООП представляет собой упрощённую разновидность особенность-ориентированного сканирования (ООС), когда вместо получения топографического изображения некоторой поверхности выполняется только перемещение зонда по особенностям этой поверхности. Перемещение осуществляется из начальной точки A поверхности (окрестности начальной особенности) в конечную точку B (окрестность конечной особенности) вдоль некоторого маршрута, проходящего через промежуточные особенности поверхности. Кроме указанного допустимо использование другого названия метода — объектно-ориентированное позиционирование.

Различают ООП "вслепую", когда координаты особенностей, по которым производится перемещение зонда, заранее неизвестны и ООП по готовой "карте" особенностей, когда относительные координаты всех особенностей известны, например, были получены в ходе предварительного ООС. Разновидностью указанных способов является перемещение зонда по навигационной структуре.

Метод ООП может использоваться в нанопроизводстве "снизу вверх" для прецизионного перемещения зонда нанолитографа/наноассемблера по поверхности подложки. Причём, ООП, однажды выполненное по некоторому маршруту, затем может быть точно воспроизведено необходимое число раз. После перемещения в заданную позицию выполняется воздействие на поверхность или манипуляция объектом поверхности (наночастицей, молекулой, атомом). Все операции осуществляются в автоматическом режиме. В многозондовых инструментах ООП подход позволяет последовательно применить к особенности/объекту поверхности или к заданной точке окрестности особенности/объекта любое число специализированных технологических и/или аналитических зондов, что открывает перспективу построения сложного нанопроизводства, состоящего из большого числа технологических, измерительных и контрольных операций.

См. также[править | править вики-текст]

Литература[править | править вики-текст]

  1. R. V. Lapshin (2004). «Feature-oriented scanning methodology for probe microscopy and nanotechnology» (PDF). Nanotechnology (IOP) 15 (9): 1135-1151. DOI:10.1088/0957-4484/15/9/006. ISSN 0957-4484.
  2. R. V. Lapshin Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology / H. S. Nalwa. — USA: American Scientific Publishers, 2011. — Vol. 14. — P. 105-115. — ISBN 1-58883-163-9.
  3. Р. Лапшин (2014). «Особенность-ориентированная сканирующая зондовая микроскопия: прецизионные измерения, нанометрология, нанотехнологии “снизу-вверх”» (PDF). Электроника: Наука, Технология, Бизнес (Техносфера) (Спецвыпуск “50 лет НИИФП”): 94-106. ISSN 1992-4178.
  4. D. W. Pohl, R. Möller (1988). «“Tracking” tunneling microscopy» (PDF). Review of Scientific Instruments (AIP Publishing) 59 (6): 840-842. DOI:10.1063/1.1139790. ISSN 0034-6748.
  5. B. S. Swartzentruber (1996). «Direct measurement of surface diffusion using atom-tracking scanning tunneling microscopy» (PDF). Physical Review Letters (American Physical Society) 76 (3): 459-462. DOI:10.1103/PhysRevLett.76.459. ISSN 0031-9007.

Ссылки[править | править вики-текст]