Трихлорсилан
| Трихлорсилан | |
 |
|
| Общие | |
|---|---|
| Химическая формула | SiHCl3 |
| Физические свойства | |
| Молярная масса | 135.45 г/моль |
| Плотность | 1.342 г/см³ |
| Термические свойства | |
| Температура плавления | −126.6 °C |
| Температура кипения | 31.8 °C |
| Классификация | |
| Рег. номер CAS | 10025-78-2 |
| SMILES | [H][Si](Cl)(Cl)Cl |
Трихлорсилан (ТХС, силан треххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан) — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.
Содержание |
Внешний вид и свойства [править]
Прозрачная жидкость с резким запахом, гидролизуется влагой воздуха.
Применение [править]
Трихлорсилан является сырьем для производства поликристаллического кремния, моносилана и дихлорсилана (которые также используются в синтезе поликремния), основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, микроэлектроника, где он используется для эпитаксиального осаждения пленок монокристаллического кремния.
Производство [править]
Мировой рынок трихлорсилана, используемого для производства поликремния, разделен между США, Японией, Германией и Италией. В бывшем СССР мощности по синтезу трихлорсилана были сосредоточены на Украине, поэтому после 1991 года производства трихлорсилана в России не оказалось. Сейчас трихлорсилан производится только на двух российских предприятиях в гг. Усолье-Сибирское и Новочебоксарске[1] и на Украине, в г.Запорожье.
Примечания [править]
- ↑ Проектный институт «ГИПРОСИНТЕЗ». Архивировано из первоисточника 31 марта 2012. Проверено 7 июня 2011.
|
|
|
|---|---|
|
Гексафторосиликат натрия (Na2[SiF6]) • Гексафторосиликат(IV) калия (K2[SiF6]) • Карбид кремния (SiC) • Кремнефтористоводородная кислота (H2[SiF6]) • Кремниевые кислоты (SiO2•n H2О) • Метасиликат калия (K2SiO3) • Метасиликат натрия (Na2SiO3) • Метилсилан (CH3-SiH3) • Муассанит • Нитрид кремния (Si3N4) • Оксид кремния(II) (SiO) • Оксид кремния(IV) (SiO2) • Ортосиликат натрия (Na4SiO4) • Полевые шпаты • Силаны (SinH2n+2) • Силикагель (n SiO2•m H2O) • Силицид сурьмы (Si3Sb4) • Силиконовое масло • Силиконы ([R2SiO]n) • Силицид ванадия (V3Si) • Силицид висмута (Si3Bi4) • Силицид кальция (CaSi2) • Силицид лития (Li6Si2) • Силицид магния (Mg2Si) • Силицид молибдена (MoSi2) • Силицид полония (SiPo2) • Силицид рения (ReSi) • Сульфид кремния (SiS2) • Тетрабромид кремния (SiBr4) • Тетраиодид кремния (SiI4) • Тетрасиликат калия (K2Si4O9•H2O) • Тетрафторид кремния (SiF4) • Трихлорсилан (SiHCl3) • Хлорид кремния(IV) (SiCl4) • Хлориды кремния |
