Трихлорсилан

Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Перейти к: навигация, поиск
Трихлорсилан
Trichlorosilane-2D-stereo.png
Общие
Хим. формула SiHCl3
Физические свойства
Молярная масса 135.45 г/моль
Плотность 1.342 г/см³
Термические свойства
Т. плав. −126.6 °C
Т. кип. 31.8 °C
Классификация
Рег. номер CAS 10025-78-2
PubChem 24811
SMILES
RTECS VV5950000
ChemSpider 23196
Приводятся данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иначе.

Трихлорсилан (ТХС, силан треххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан) — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.

Внешний вид и свойства[править | править вики-текст]

Прозрачная жидкость с резким запахом, гидролизуется влагой воздуха. Производство данного продукта требует от персонала повышенной внимательности и осторожности ввиду токсичности трихлорсилана. Попадание на кожу даже небольших капелек чревато, как минимум, весьма болезненным и плохо заживающим химическим ожогом; большое кол-во же способно причинить тяжелые увечья, вплоть до отделения мышечной ткани от костей.

Применение[править | править вики-текст]

Трихлорсилан является сырьем для производства поликристаллического кремния, моносилана и дихлорсилана (которые также используются в синтезе поликремния), основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, микроэлектроника, где он используется для эпитаксиального осаждения пленок монокристаллического кремния.

Производство[править | править вики-текст]

Мировой рынок трихлорсилана, используемого для производства поликремния, разделен между США, Японией, Германией и Италией. В бывшем СССР мощности по синтезу трихлорсилана были сосредоточены на Украине, поэтому после 1991 года производства трихлорсилана в России не оказалось. Сейчас трихлорсилан производится только на двух российских предприятиях в гг. Усолье-Сибирское и Новочебоксарске[1] и на Украине, в г.Запорожье.

Примечания[править | править вики-текст]