Электронная оптика

Материал из Википедии — свободной энциклопедии

Перейти к: навигация, поиск

Электронная оптика — это дисциплина, занимающаяся вопросами формирования, фокусировки и транспортировки пучков электронов. Практическое применение — формирование потоков электронов и управления этими пучками посредством электростатических и магнитных полей, например в электронно-лучевых трубках. Электронной оптикой или электронно-оптическими называют также приборы и/или методы исследования, базирующиеся на использовании таких потоков.


[править] Современное применение

По мере того, как оптические методы перестают соответствовать возросшим запросам современной микроэлектроники, литографии и прочих дисциплин, занимающихся производством микросхем, на передний план выходит методы электронной оптики, разрешающая способность которых существенно выше. В качестве альтернативы рассматриваются методы рентгеновской литографии.

[править] Ссылки

На других языках