Интерферометр Физо

Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Перейти к: навигация, поиск

Интерферометр Физо — простейший многолучевой интерферометр, применяемый главным образом для контроля точности изготовления поверхностей оптических деталей и оптических систем. Интерферометр Физо часто относят к интерферометрам с общим ходом пучков, так как до эталонной (полупрозрачной) поверхности пучки имеет общий ход.

Промышленно в СССР выпускались интерферометры Физо для контроля плоских поверхностей: ИИП-15, ИТ-40, ИТ-70 ИТ-100, ИТ-200; а для контроля выпуклых поверхностей КЮ-153, КЮ-210, КЮ-211, а также универсальный интерферометр ИКД-110 [1] — позволяющий контролировать как плоские, так и выпуклые и вогнутые поверхности. В настоящее время в России выпускается интерферометр "ФТИ-100"[2], оснащенный фазово-сдвиговой системой регистрации интерферограмм, а также интерферометр для контроля плоских поверхностей М200 [3]

В настоящее время в России выпускается также ряд интерферометров Физо различного назначения:

Opto-TL-60[4] – для контроля точности сферических и плоских поверхностей и измерения значений радиусов в цеховых условиях. Этот прибор отличается наличием двух юстировочных экранов для ускорения процесса настройки, малыми габаритами, большим набором эталонных объективов и наличием лазерного линейного энкодера для непосредственного измерения радиусов;

Opto-TL-20 – для контроля качества лазерных стержней с учетом материала;

Opto-TL-250 – для контроля плоских поверхностей до 250 мм;

Если эталонную и контролируемую поверхность покрыть зеркальным слоем с коэффициентом отражения около 80 — 90 %, то вместо двухлучевой интерференционной картины получается многолучевая интерференционная картина высокой контрастности.

Схема интерферометра[править | править вики-текст]

Модификации интерферометра для контроля выпуклых, вогнутых и плоских поверхностей.

Выходящий из источника когерентного излучения пучок лучей фокусируется микрообъективом и преобразуется в расходящийся, который после прохождения светоделителя преобразуется коллимирующим объективом в параллельный пучок. В фокусе микрообъектива часто устанавливают точечную диафрагму, которая являясь фильтром пространственных частот улучшает однородность пучка. Для контроля плоских и выпуклых поверхностей используются эталонные насадки представляющие собой объектив, последняя поверхность которого, являющаяся эталоном, концентрична его фокальной точке. Эталонная насадка устанавливается за коллимирующим объективом, а контролируемая поверхность устанавливается за эталонной насадкой таким образом, чтобы её центр кривизны совпадал с фокальной точкой эталонного объектива. Для контроля плоских поверхностей в качестве эталона используется клиновидная пластина, последняя поверхность которой является эталоном. Эталонная и контролируемая поверхности устанавливаются так, чтобы обеспечить автоколлимационный ход лучей в интерферометре. В обратном ходе лучи, отраженные от эталона и контролируемой поверхности, возвращаются обратно через коллимирующий объектив и, отразившись от светоделителя, формируют интерференционную картину полос равной толщины в плоскости оптически сопряженной с плоскостью контролируемой поверхности.

Контроль радиусов на интерферометре Физо[править | править вики-текст]

При помощи интерферометра Физо также возможно измерение радиусов оптических сферических поверхностей.

На рисунке представлен принцип измерения. Сначала центр кривизны эталона (фокальная точка эталонного объектива) совмещаются с центром кривизны контролируемой поверхности. ( см. положение “а”). Критерием точности совмещения является настройка на бесконечно широкую полосу. На линейно-измерительном устройстве, связанном механически с прибором снимается отсчет. Прибор перемещается в положение «кошачий глаз» - когда центр кривизны эталона совмещен с поверхностью контролируемой детали ( см. положение “б”).

Точно замеренная величина этого перемещения как видно из рисунка равна радиусу контролируемой поверхности. Такой способ измерения радиусов реализован, например, в приборе OptoTL-60[5].

Примечания[править | править вики-текст]

  1. Интерферометр ИКД-110
  2. Интерферометр ФТИ-100
  3. Интерферометр M200
  4. OptoTL. Интерферометр OptoTL. https://optotl.ru. optotl.ru (16 января 2017). Проверено 16 января 2017.
  5. Opto-TL. OptoTL-60. Опто-технологическая лабаратория.

Литература[править | править вики-текст]