Перейти к содержанию

Оксид индия-олова

Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Оксид индия-олова
Общие
Традиционные названия смешанный оксид индия-олова; ITO
Хим. формула (In2O3)0,9 - (SnO2)0,1
Физические свойства
Состояние бесцветное твёрдое вещество, в массе - желтоватое
Молярная масса 264,94 г/моль
Плотность 7,12 г/см3 (25 °C) [1]
Химические свойства
Растворимость
  в воде нерастворим
Классификация
Рег. номер CAS 50926-11-9
PubChem
Рег. номер EINECS 610-589-1
SMILES
InChI
Приведены данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иное.

Оксид индия-олова (англ. Indium tin oxide или сокращённо ITO) — полупроводниковый материал, прозрачен для видимого света благодаря большой ширине запрещённой зоны (около 4 eV), но способен отражать ИК излучение. Твёрдый раствор оксидов индия (III) и олова (IV) типично содержит 90 % первого и 10 % второго.

Является полупроводником n-типа с проводимостью, сравнимой с металлической, где ионы олова служат донорами электронов. В тонких слоях порядка 200 нм, нанесенный на стекло при температуре около 400 °С демонстрирует высокую прозрачность и имеет поверхностное сопротивление около 6 Ом/□.

Области применения

[править | править код]

Оксид индия-олова (ITO) — оптоэлектронный материал, широко применяемый как в научных исследованиях, так и в промышленности. ITO используется во многих областях, включая плоские дисплеи, «умные» окна, полимерную электронику, тонкоплёночные фотоэлектрические элементы, стеклянные двери морозильных камер супермаркетов и архитектурное остекление. Кроме того, тонкие плёнки ITO на стеклянных подложках могут применяться в оконных стёклах для повышения энергоэффективности.[2] Зелёные ленты ITO используются для производства электролюминесцентных, функциональных и полностью гибких ламп.[3] Тонкие плёнки ITO также применяются главным образом в качестве антиотражающих покрытий, а также в жидкокристаллических дисплеях (LCD) и электролюминесцентных устройствах, где они служат прозрачными проводящими электродами.[4] ITO часто используется для создания прозрачных проводящих покрытий в дисплеях, таких как жидкокристаллические, OLED- и плазменные дисплеи, сенсорные панели и устройства на электронных чернилах.[5] Тонкие плёнки ITO также применяются в органических светодиодах, солнечных элементах, антистатических покрытиях и экранировании электромагнитных помех. В органических светодиодах ITO используется в качестве анода (слоя инжекции дырок). Плёнки ITO, нанесённые на лобовые стёкла, применяются для обогрева и предотвращения обледенения авиационных стёкол. Нагрев осуществляется за счёт подачи напряжения на плёнку. ITO также используется для отражения или поглощения электромагнитного излучения. Фонарь кабины истребителя F-22 Raptor имеет покрытие из ITO, которое поглощает радиолокационные волны и отражает инфракрасное излучение, повышая малозаметность самолёта и придавая остеклению характерный золотистый оттенок.[6][7] ITO применяется и в различных оптических покрытиях, в частности в инфракрасно-отражающих покрытиях (так называемых «тепловых зеркалах») для автомобильной промышленности и стекол натриевых ламп. К другим областям применения относятся газовые сенсоры, антиотражающие покрытия, электросмачивание на диэлектриках и брэгговские отражатели для лазеров VCSEL. ITO также используется в качестве инфракрасного отражателя в энергосберегающих оконных стёклах (low-e). Кроме того, ITO применялся в качестве сенсорного покрытия в более поздних моделях камер Kodak DCS, начиная с Kodak DCS 520, для повышения чувствительности синего канала. Тонкоплёночные тензодатчики на основе ITO могут работать при температурах до 1400 °C и использоваться в экстремальных условиях, например в газовых турбинах, реактивных и ракетных двигателях. ITO используется в качестве прозрачного проводящего слоя в солнечных элементах, включая тонкоплёночные, перовскитные и тандемные элементы.[10] Его прозрачность позволяет солнечному свету достигать активных слоёв, а высокая проводимость обеспечивает эффективный сбор заряда, повышая общую эффективность устройств.

Методы нанесения

[править | править код]

Оксид индия-олова наносят различными методами, в зависимости от нужной прозрачности и материала подложки. При нанесении на стекло используется метод напыления в высоком вакууме, но при этом подложка, на которую наносят прозрачные электроды, может нагреваться до 400 °С. Это неприемлемо для большинства термопластичных материалов. Также, сообщается о получении газовых сенсоров на основе ITO для детектирования газа CO с помощью плоттерной печати[8].

Одним из наиболее распространенных методов получения тонких пленок ITO является магнетронное распыление[9]. Свойства получаемых пленок в значительной степени зависят от технологических параметров процесса распыления, таких как давление в камере, мощность разряда и температура подложки. Также для получения ITO могут применяться методы электронно-лучевого и термического испарения, обладающие своими преимуществами и недостатками. Золь-гелевая технология представляет собой альтернативный подход к получению пленок ITO, характеризующийся относительно низкой стоимостью, однако требующий последующей термообработки для улучшения электропроводящих свойств[10]. Для получения пленок ITO с высокой степенью контроля толщины и состава могут быть использованы методы химического осаждения из газовой фазы (CVD) и атомно-слоевого осаждения (ALD), однако данные методы требуют применения более сложного и дорогостоящего оборудования. [11].

Конкурирующие материалы

[править | править код]

Главным недостатком оксида индия-олова является его дороговизна (в связи с высоким спросом, цена индия превышала 750 долларов за килограмм), поэтому предлагались другие материалы для прозрачных электродов:

  • Оксид цинка, легированный индием (ZnO-In2O3)[12]
  • Оксид алюминия-цинка (AZO)
  • Оксид олова, легированный фтором (FTO)
  • Оксид олова, легированный сурьмой
  • Графен [13]
  • Проводящие полимеры (в т.ч. PEDOT)
  • Оксид индия, легированный фтором (IFO)
  • Оксид индия, легированный цинком (IZO)
  • Ванадат стронция [14]
  • Ванадат кальция [14]
  1. Gunar Kaune: Röntgenografische Charakterisierung von Indium-Zinn-Oxid-Dünnschichten. (PDF; 4,4 MB) Архивная копия от 14 февраля 2006 на Wayback Machine Diplomarbeit an der Technischen Universität Chemnitz, 26. September 2005.
  2. Electrical, optical, and structural properties of indium–tin–oxide thin films for organic light-emitting devices.
  3. Tape Casting of ITO Green Tapes for Flexible Electroluminescent Lamps.
  4. Du, Jian; Chen, Xin-liang; Liu, Cai-chi; Ni, Jian; Hou, Guo-fu; Zhao, Ying; Zhang, Xiao-dan (24 April 2014). "Highly transparent and conductive indium tin oxide thin films for solar cells grown by reactive thermal evaporation at low temperature". Applied Physics A. 117 (2): 815–822. Bibcode:2014ApPhA.117..815D. doi:10.1007/s00339-014-8436-x. S2CID 95720073.
  5. Du, Jian; Chen, Xin-liang; Liu, Cai-chi; Ni, Jian; Hou, Guo-fu; Zhao, Ying; Zhang, Xiao-dan (24 April 2014). "Highly transparent and conductive indium tin oxide thin films for solar cells grown by reactive thermal evaporation at low temperature". Applied Physics A. 117 (2): 815–822. Bibcode:2014ApPhA.117..815D. doi:10.1007/s00339-014-8436-x. S2CID 95720073.
  6. Sweetman, Bill (1998). F-22 Raptor. MBI Publishing Company. p. 48. ISBN 978-1-61060-143-6..
  7. Xu, Yang (2023-01-06). "Indium tin oxide as a dual-band compatible stealth material with low infrared emissivity and strong microwave absorption". Journal of Materials Chemistry C. 11 (5): 1754–1763. doi:10.1039/D2TC04722E. Retrieved 2025-03-24.
  8. Artem S. Mokrushin, Nikita A. Fisenko, Philipp Yu Gorobtsov, Tatiana L. Simonenko, Oleg V. Glumov. Pen plotter printing of ITO thin film as a highly CO sensitive component of a resistive gas sensor (англ.) // Talanta. — 2021-01-01. Vol. 221. P. 121455. ISSN 0039-9140. doi:10.1016/j.talanta.2020.121455.
  9. Амосова Л. П., Исаев М. В. Магнетронное напыление прозрачных электродов ITO из металлической мишени на холодную подложку // Журнал технической физики : журнал. — 2014. № 84.
  10. Кузнецова, С. А., Халипова, О. С., Лютова, Е. С., & Борило, Л. П. Золь-гель метод получения тонкопленочных оксидных материалов различного назначения: обзор результатов исследований на кафедре неорганической химии Томского государственного университета // Вестник Томского государственного университета : журнал. — 2022. doi:10.17223/24135542/27/3. Архивировано 13 мая 2025 года.
  11. Комаров, Ф. Ф., Романов, И. А., Власукова, Л. А., Пархоменко, И. Н., Цивако, А. А., & Ковальчук, Н. С. Резистивное переключение в структурах ITO/SiN \_x/Si // Журнал технической физики : журнал. — 2021. С. 139-144. doi:10.1134/S1063784221010126.
  12. Akhmed Akhmedov, Aslan Abduev, Eldar Murliev, Abil Asvarov, Arsen Muslimov. The ZnO-In2O3 Oxide System as a Material for Low-Temperature Deposition of Transparent Electrodes (англ.) // Materials. — 2021-01. Vol. 14, iss. 22. P. 6859. ISSN 1996-1944. doi:10.3390/ma14226859. Архивировано 24 марта 2022 года.
  13. Jonathan K. Wasseia et. al. Graphene, a promising transparent conductor Materials Today 13, 52 (2010) doi:10.1016/S1369-7021(10)70034-1
  14. 1 2 Transparent metal films for smart phone, tablet and TV displays (амер. англ.). phys.org. Дата обращения: 12 июня 2019. Архивировано 21 октября 2018 года.