Особенность-ориентированное позиционирование

Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Перейти к навигации Перейти к поиску


Особенность-ориентированное позиционирование (ООП, англ. FOP — feature-oriented positioning) — способ прецизионного перемещения зонда сканирующего микроскопа по исследуемой поверхности, при котором особенности (объекты) поверхности используются в качестве опорных точек. В ходе ООП зонд перемещается из начальной точки A поверхности (окрестности начальной особенности) в конечную точку B (окрестность конечной особенности) вдоль некоторого маршрута, проходящего через промежуточные особенности поверхности. Кроме указанного допустимо использование другого названия метода — объектно-ориентированное позиционирование.

Различают ООП “вслепую”, когда координаты особенностей, по которым производится перемещение зонда, заранее неизвестны и ООП по готовой “карте” особенностей, когда относительные координаты всех особенностей известны, например, были получены в ходе предварительного особенность-ориентированного сканирования (ООС). Разновидностью указанных способов является перемещение зонда по навигационной структуре.

Метод ООП может использоваться в нанопроизводстве “снизу вверх” для прецизионного перемещения зонда нанолитографа/наноассемблера по поверхности подложки. Причём, ООП, однажды выполненное по некоторому маршруту, затем может быть точно воспроизведено необходимое число раз. После перемещения в заданную позицию выполняется воздействие на поверхность или манипуляция объектом поверхности (наночастицей, молекулой, атомом). Все операции осуществляются в автоматическом режиме. При наличии грубого позиционера шагающего типа метод ООП обеспечивает прецизионное перемещение зонда по поверхности на неограниченное расстояние. В многозондовых инструментах ООП подход позволяет последовательно применить к особенности/объекту поверхности или к заданной точке окрестности особенности/объекта любое число специализированных технологических и/или аналитических зондов. Указанная возможность открывает перспективу построения сложного нанопроизводства, состоящего из большого числа технологических, измерительных и контрольных операций.

См. также[править | править код]

Литература[править | править код]

1. R. V. Lapshin (2004). “Feature-oriented scanning methodology for probe microscopy and nanotechnology” (PDF). Nanotechnology. UK: IOP. 15 (9): 1135–1151. DOI:10.1088/0957-4484/15/9/006. ISSN 0957-4484.

2. R. V. Lapshin. Feature-oriented scanning probe microscopy // Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology / H. S. Nalwa. — USA : American Scientific Publishers, 2011. — Vol. 14. — P. 105-115. — ISBN 1-58883-163-9.

3. Р. Лапшин (2014). “Особенность-ориентированная сканирующая зондовая микроскопия: прецизионные измерения, нанометрология, нанотехнологии "снизу-вверх". Электроника: Наука, Технология, Бизнес. Российская Федерация: Техносфера (Спецвыпуск “50 лет НИИФП”): 94–106. ISSN 1992-4178.

4. D. W. Pohl, R. Möller (1988). "Tracking" tunneling microscopy”. Review of Scientific Instruments. USA: AIP Publishing. 59 (6): 840–842. DOI:10.1063/1.1139790. ISSN 0034-6748.

5. B. S. Swartzentruber (1996). “Direct measurement of surface diffusion using atom-tracking scanning tunneling microscopy”. Physical Review Letters. USA: American Physical Society. 76 (3): 459–462. DOI:10.1103/PhysRevLett.76.459. ISSN 0031-9007.

Ссылки[править | править код]