Промышленный ускоритель

Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Перейти к навигации Перейти к поиску

Промышленные ускорителиускорители заряженных частиц, применяемые в промышленности. Наибольшее распространение получили небольшие линейные ускорители электронов, либо электростатические, либо импульсные, на энергию 0.1÷5 МэВ. Также широко используются электростатические ускорители ионов для легирования тонкого слоя полупроводников, для нужд микроэлектроники (ионная имплантация).

Области применения промышленных ускорителей[1]:

Примечания[править | править код]

Ссылки[править | править код]