Профилометрия
 | Этой статье нужно больше ссылок на другие статьи для интеграции в энциклопедию. |
Профилометрия (англ. profilometry) — процесс измерения («снятия») профиля сечения поверхности в плоскости, перпендикулярной к ней и ориентированной в заданном направлении.
Описание[править | править код]
Графическое изображение профиля, снятого в ходе профилометрии, называется профилограммой. Информация, получаемая в ходе обработки профилограмм, используется для расчёта стандартных параметров и позволяет производить качественную и количественную оценку шероховатости исследуемых поверхностей. Множество профилограмм, снятых с определённым шагом и последовательно расположенных в трёхмерной системе координат, даёт наглядное представление о топографии поверхности.
Регистрация профилограмм, а также получение трёхмерного изображения поверхностей твёрдых тел может производиться приборами контактного или бесконтактного типа. Приборы, предназначенные для этого, называются профилометрами или профилографами. В приборах контактного типа копирование профиля осуществляется путём перемещения иглы по шероховатой исследуемой поверхности. К приборам бесконтактного типа относятся оптические и растровые электронные микроскопы, а также приборы, использующие для сканирования поверхности монохроматическое (в частности, лазерное) излучение.