Краткое описание

An aligner is a major piece of equipment used in semiconductor device fabrication. Trending from upper left to lower right is the wafer-track system of a photolithographic cell that uses the "i-line" from a mercury arc lamp (wavelength 365 nm) to expose photoresist deposited on silicon wafers. Wafers are robotically loaded from a carrier at the left hand of the system and progressively are coated with photoresist, exposed to ultraviolet light, and "developed". The development step involves using a solvent to remove either the exposed (positive photoresist) or unexposed (negative photoresist) portions of the film. In the foreground is a black plastic box containing silicon wafers with a diameter of 6" (150 mm).

Photo taken at HP Labs by Alison Chaiken using a Nikon 995 camera. Note that the light in the room really is yellow!

Лицензирование

Разрешается копировать, распространять и/или изменять этот документ в соответствии с условиями GNU Free Documentation License версии 1.2 или более поздней, опубликованной Фондом свободного программного обеспечения, без неизменяемых разделов, без текстов, помещаемых на первой и последней обложке. Копия лицензии включена в раздел, озаглавленный GNU Free Documentation License.http://www.gnu.org/copyleft/fdl.htmlGFDLGNU Free Documentation Licensetruetrue

	Этот файл доступен по лицензии Creative Commons Attribution-Share Alike 3.0 Unported.
	Вы можете свободно: делиться произведением – копировать, распространять и передавать данное произведение создавать производные – переделывать данное произведение При соблюдении следующих условий: атрибуция – Вы должны указать авторство, предоставить ссылку на лицензию и указать, внёс ли автор какие-либо изменения. Это можно сделать любым разумным способом, но не создавая впечатление, что лицензиат поддерживает вас или использование вами данного произведения. распространение на тех же условиях – Если вы изменяете, преобразуете или создаёте иное произведение на основе данного, то обязаны использовать лицензию исходного произведения или лицензию, совместимую с исходной.
	Этот признак лицензирования был добавлен к этому файлу как часть обновления лицензии GFDL.http://creativecommons.org/licenses/by-sa/3.0/CC BY-SA 3.0Creative Commons Attribution-Share Alike 3.0truetrue