Перейти на страницу файла на Викискладе

Файл:ASML EUVL blurred NILS.PNG

Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Перейти к навигации Перейти к поиску

Исходный файл(803 × 546 пкс, размер файла: 19 КБ, MIME-тип: image/png)

Краткое описание

Описание
English: Data from ASML presentation at International Workshop on EUVL, Maui 2010: J. Benschop, "EUV: Status and Challenges Ahead". The decreasing NILS (normalized image log slope) indicates decreasing quality of the lithographic patterning. 2 is the ideal value for acceptable printing,[1] although values as low as 1.3 could be used in current production.[2]

The ADT (Alpha Demo Tool) and MET (Micro-Exposure Tool) were installed for learning purposes only, while the NXE:3300 is ASML's targeted production tool.

References

  1. O. Wood and B. LaFontaine, Source Power Requirement for HVM.
  2. US Patent 6977715.
Дата 19 августа 2010 (дата первоначальной загрузки файла на вики)
Источник Перенесено с en.wikipedia на Викисклад.
Автор Guiding light из английский Википедия

Лицензирование

Guiding light из английский Википедия, владелец авторских прав на это произведение, добровольно публикует его на условиях следующих лицензий:
w:ru:Creative Commons
атрибуция распространение на тех же условиях
Этот файл доступен на условиях лицензий Creative Commons Attribution-Share Alike 3.0 Unported, 2.5 Generic, 2.0 Generic и 1.0 Generic.
Вы можете свободно:
  • делиться произведением – копировать, распространять и передавать данное произведение
  • создавать производные – переделывать данное произведение
При соблюдении следующих условий:
  • атрибуция – Вы должны указать авторство, предоставить ссылку на лицензию и указать, внёс ли автор какие-либо изменения. Это можно сделать любым разумным способом, но не создавая впечатление, что лицензиат поддерживает вас или использование вами данного произведения.
  • распространение на тех же условиях – Если вы изменяете, преобразуете или создаёте иное произведение на основе данного, то обязаны использовать лицензию исходного произведения или лицензию, совместимую с исходной.
GNU head Разрешается копировать, распространять и/или изменять этот документ в соответствии с условиями GNU Free Documentation License версии 1.2 или более поздней, опубликованной Фондом свободного программного обеспечения, без неизменяемых разделов, без текстов, помещаемых на первой и последней обложке. Копия лицензии включена в раздел, озаглавленный GNU Free Documentation License.
Вы можете выбрать любую из этих лицензий.

Исходный журнал загрузок

Первоначальная страница описания находилась здесь. Все нижеперечисленные имена участников относятся к en.wikipedia.
Дата/время Размеры Участник Примечание
2010-08-29 17:19 803×546× (19764 bytes) Guiding light Updated data from International Workshop on EUVL, 2010 (J. Benschop).
2010-08-19 15:09 677×400× (11211 bytes) Guiding light Data from ASML presentation at Semicon West 2010: "EUVL - getting ready for volume introduction," H. Meiling, July 14, 2010.

Краткие подписи

Добавьте однострочное описание того, что собой представляет этот файл

Элементы, изображённые на этом файле

изображённый объект

image/png

546 пиксель

803 пиксель

История файла

Нажмите на дату/время, чтобы посмотреть файл, который был загружен в тот момент.

Дата/времяМиниатюраРазмерыУчастникПримечание
текущий07:24, 13 марта 2016Миниатюра для версии от 07:24, 13 марта 2016803 × 546 (19 КБ)OgreBot(BOT): Reverting to most recent version before archival
07:24, 13 марта 2016Миниатюра для версии от 07:24, 13 марта 2016677 × 400 (11 КБ)OgreBot(BOT): Uploading old version of file from en.wikipedia; originally uploaded on 2010-08-19 15:09:35 by Guiding light
10:08, 28 февраля 2016Миниатюра для версии от 10:08, 28 февраля 2016803 × 546 (19 КБ)FastilyCloneTransferred from enwp

Нет страниц, использующих этот файл.