Интерферометр Физо
Интерферо́метр Физо́ — разновидность многолучевого интерферометра в котором интерференция происходит в промежутке между двумя отражающими поверхностями. Интерферометр Физо часто относят к интерферометрам с общим ходом пучков света, так как до эталонной (полупрозрачной) поверхности пучки распространяются совместно.
Применяется, главным образом, для контроля точности изготовления поверхностей оптических деталей и оптических систем.
Промышленно в СССР выпускались интерферометры Физо для контроля плоских поверхностей: ИИП-15, ИТ-40, ИТ-70 ИТ-100, ИТ-200; а для контроля выпуклых поверхностей КЮ-153, КЮ-210, КЮ-211, а также универсальный интерферометр ИКД-110[1] — позволяющий контролировать как плоские, так и выпуклые и вогнутые поверхности. В настоящее время в России выпускается интерферометр «ФТИ-100»[2], оснащенный фазово-сдвиговой системой регистрации интерферограмм, а также интерферометр для контроля плоских поверхностей М200[3].
Схема интерферометра[править | править код]
Если эталонную и контролируемую поверхность покрыть зеркальным слоем с коэффициентом отражения около 80—90 %, то вместо двухлучевой интерференционной картины получается многолучевая интерференционная картина высокой контрастности.
Выходящий из источника когерентного излучения пучок лучей фокусируется микрообъективом и преобразуется в расходящийся, который после прохождения светоделителя преобразуется коллимирующим объективом в параллельный пучок. В фокусе микрообъектива часто устанавливают точечную диафрагму, которая являясь фильтром пространственных частот улучшает однородность пучка.
Для контроля плоских и выпуклых поверхностей используются эталонные насадки представляющие собой объектив, последняя поверхность которого, являющаяся эталоном, концентрична его фокальной точке. Эталонная насадка устанавливается за коллимирующим объективом, а контролируемая поверхность устанавливается за эталонной насадкой таким образом, чтобы её центр кривизны совпадал с фокальной точкой эталонного объектива.
Для контроля плоских поверхностей в качестве эталона используется клиновидная пластина, поверхность обращённая к тестируемой поверхности является эталонной поверхностью.
Эталонная и контролируемая поверхности устанавливаются так, чтобы обеспечить автоколлимационный ход лучей в интерферометре. В обратном ходе лучи, отраженные от эталона и контролируемой поверхности, возвращаются обратно через коллимирующий объектив и, отразившись от светоделителя (полупрозрачного зеркала), формируют интерференционную картину полос равной толщины в плоскости оптически сопряженной с плоскостью контролируемой поверхности.
Примечания[править | править код]
- ↑ Интерферометр ИКД-110 (недоступная ссылка)
- ↑ Интерферометр ФТИ-100. Дата обращения: 9 декабря 2020. Архивировано из оригинала 11 августа 2020 года.
- ↑ Интерферометр M200 Архивная копия от 11 сентября 2017 на Wayback Machine
Литература[править | править код]
- Захарьевский А. Н. Интерферометры. М.: Оборонгиз. 1952, 296 с.
- Коломийцов Ю. В. Интерферометры. Основы инженерной теории, применение. Л.: Машиностроение, 1976, 296 с.
- Малакара Д. Оптический производственный контроль. М.: Машиностроение, 1985, 400 с.