Трихлорсилан

Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Перейти к навигации Перейти к поиску
Трихлорсилан
Изображение химической структуры
Общие
Хим. формула SiHCl3
Физические свойства
Молярная масса 135.45 г/моль
Плотность 1.342 г/см³
Энергия ионизации 11,7 эВ[1]
Термические свойства
Температура
 • плавления −126.6 °C
 • кипения 31.8 °C
Структура
Дипольный момент 2,9E−30 Кл·м[1]
Классификация
Рег. номер CAS 10025-78-2
PubChem
Рег. номер EINECS 233-042-5
SMILES
InChI
RTECS VV5950000
Номер ООН 1295
ChemSpider
Безопасность
NFPA 704
NFPA 704 four-colored diamondОгнеопасность 4: Быстро или полностью испаряется при нормальном атмосферном давлении и температуре или легко рассеивается в воздухе и легко возгорается (например, пропан). Температура вспышки ниже 23 °C (73 °F)Опасность для здоровья 3: Кратковременное воздействие может привести к серьёзным временным или умеренным остаточным последствиям (например, хлор, серная кислота)Реакционноспособность 2: Подвергается серьёзным химическим изменениям при повышенной температуре и давлении, бурно реагирует с водой или может образовывать взрывчатые смеси с водой (например, фосфор, калий, натрий)Специальный код W: Реагирует с водой необычным или опасным образом (например, цезий, натрий, рубидий)
4
3
2
Приведены данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иное.
Логотип Викисклада Медиафайлы на Викискладе

Трихлорсила́н (ТХС, силан трёххлористый, силана трихлорид, силикохлороформ, трихлормоносилан) — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.

Внешний вид и свойства[править | править код]

Прозрачная жидкость с резким запахом, гидролизуется влагой воздуха. Производство данного продукта требует от персонала повышенной внимательности и осторожности ввиду токсичности трихлорсилана. Попадание на кожу даже небольших капелек чревато, как минимум, весьма болезненным и плохо заживающим химическим ожогом; большое кол-во же способно причинить тяжёлые увечья, вплоть до отделения мышечной ткани от костей.

Применение[править | править код]

Трихлорсилан является сырьём для производства поликристаллического кремния, моносилана и дихлорсилана (которые также используются в синтезе поликремния), основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, микроэлектроника, где он используется для эпитаксиального осаждения плёнок монокристаллического кремния.

Производство[править | править код]

Мировой рынок трихлорсилана, используемого для производства поликремния, разделен между США, Японией, Германией и Италией. В бывшем СССР мощности по синтезу трихлорсилана были сосредоточены на Украине, поэтому после 1991 года производства трихлорсилана в России не оказалось. К 2010 году трихлорсилан производился на четырёх российских предприятиях в Усолье-Сибирском (завод «Усольехимпром» закрыт в 2017 году, по состоянию на 2023 год проводятся работы по утилизации опасных материалов, включая трихлорсилан[2]), Новосибирске (ООО «Альфагаз»), Дзержинске (ООО «Фирма „ХОРСТ“»), Новочебоксарске[3] и на Украине, в Запорожье.

Примечания[править | править код]

  1. 1 2 David R. Lide, Jr. Basic laboratory and industrial chemicals (англ.): A CRC quick reference handbookCRC Press, 1993. — ISBN 978-0-8493-4498-5
  2. Логотип YouTube Катастрофа в Усолье-Сибирском: как ликвидируют сибирский "Чернобыль"?
  3. Компания GCL-Poly подписала новые контракты на приобретение оборудования и ноу-хау у компании GT Solar. Новости. Проектный институт «ГИПРОСИНТЕЗ». Дата обращения: 25 ноября 2023. Архивировано из оригинала 30 марта 2012 года.