Метилсилан

Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Перейти к: навигация, поиск
Метилсилан
Общие
Систематическое
наименование

Метилсилан

Хим. формула

CH3-SiH3

Рац. формула

СH6Si

Физические свойства
Молярная масса

46,14 г/моль

Плотность

газ 1,93 г/л
0,6277-57 г/см³

Термические свойства
Т. плав.

-156,8;
-157 °C

Т. кип.

-57,5;
-56,9 °C

Классификация
Рег. номер CAS

992-94-9

PubChem
Рег. номер EINECS

213-598-5

SMILES
InChI
ChemSpider
Приводятся данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иного.

Метилсилан — органическое соединение, алкилпроизводное моносилана, воспламеняющийся, бесцветный газ с неприятным запахом, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Получение[править | править вики-текст]

Физические свойства[править | править вики-текст]

Метилсилан — бесцветный газ с неприятным запахом, воспламеняется на воздухе, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Химические свойства[править | править вики-текст]

  • Термическое разложение метилсилана используют для получения плёнок карбида кремния:
  • Реагирует с галогенами:

Применение[править | править вики-текст]

  • Используется в качестве исходного сырья для газофазного осаждения карбида кремния при изготовлении композиционных материаллов, а также в процессе получения фоторезистов и других полупроводниковых материалов.

Литература[править | править вики-текст]

  • Химическая энциклопедия / Редкол.: Кнунянц И.Л. и др.. — М.: Советская энциклопедия, 1990. — Т. 2. — 671 с. — ISBN 5-82270-035-5.