Просвечивающий растровый электронный микроскоп: различия между версиями

Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Перейти к навигации Перейти к поиску
Интерактивная навигация по истории
[непроверенная версия][отпатрулированная версия]
← Предыдущая правкаСледующая правка →
Содержимое удалено Содержимое добавлено
ВизуальныйВики-текст
Спасено источников — 1, отмечено мёртвыми — 0. Сообщить об ошибке. См. FAQ.) #IABot (v2.0
дополнение
Строка 4: Строка 4:
Обычно ПРЭМ - это традиционный просвечивающий электронный микроскоп, оснащенный дополнительными сканирующими линзами, детекторами и необходимыми схемами, однако также существуют и специализированные ПРЭМ приборы.
Обычно ПРЭМ - это традиционный просвечивающий электронный микроскоп, оснащенный дополнительными сканирующими линзами, детекторами и необходимыми схемами, однако также существуют и специализированные ПРЭМ приборы.


== История ==
Первый просвечивающий растровый электронный микроскоп был изобретен бароном [[Арденне, Манфред фон|Манфредом фон Арденне]] в [[1934]] году<ref>{{cite journal
|last=von Ardenne|first=M|year=1938|title=Das Elektronen-Rastermikroskop. Theoretische Grundlagen
|journal=Z. Phys.|volume=109|pages=553–572|bibcode = 1938ZPhy..109..553V |doi = 10.1007/BF01341584
|issue=9–10 }}</ref><ref>{{cite journal
|last=von Ardenne|first=M|year=1938|title=Das Elektronen-Rastermikroskop. Praktische Ausführung
|journal=Z. Tech. Phys.|volume=19|pages=407–416}}</ref>, когда работал в [[Берлин|Берлине]] в компании [[Siemens]]. Однако, в то время результаты были незначительны по сравнению с [[ПЭМ|просвечивающим электронным микроскопом]], и Манфред фон Арденне проработал над ним только 2 года. Микроскоп был уничтожен при воздушной бомбардировке в 1944 году и фон Арденне не вернулся к работе над ним после Второй Мировой Войны<ref>[http://www-g.eng.cam.ac.uk/125/achievements/mcmullan/mcm.htm D. McMullan, SEM 1928 – 1965]</ref>.


== Коррекция аберраций и высокое разрешение ==
== Коррекция аберраций и высокое разрешение ==
Строка 12: Строка 19:


== [[Спектроскопия характеристических потерь энергии электронами]] ==
== [[Спектроскопия характеристических потерь энергии электронами]] ==
СХПЭЭ в режиме ПРЭМ стала возможна с добавлением соответствующего спектрометра. Высокоэнергетический сведённый электронный пучок в ПРЭМ несет локальную информацию об образце вплоть до атомного разрешения. Добавление СХПЭЭ позволяет производить определение элементов и даже дополнительные возможности в определении электронной структуры или химических связей атомных колонок.
СХПЭЭ(EELS) в режиме ПРЭМ стала возможна с добавлением соответствующего спектрометра. Высокоэнергетический сведённый электронный пучок в ПРЭМ несет локальную информацию об образце вплоть до атомного разрешения. Добавление СХПЭЭ позволяет производить определение элементов и даже дополнительные возможности в определении электронной структуры или химических связей атомных колонок.


Рассеянные на малые углы неупругие электроны используются в СХПЭЭ совместно с упруго рассеянными на большие углы электронами в ADF (кольцевой темнопольной ПРЭМ) позволяя получать оба сигнала одновременно.
Рассеянные на малые углы неупругие электроны используются в СХПЭЭ совместно с упруго рассеянными на большие углы электронами в ADF (кольцевой темнопольной ПРЭМ) позволяя получать оба сигнала одновременно.

Версия от 10:19, 18 ноября 2019

ПРЭМ, оснащенный корректором сферических аберраций

Просвечивающий растровый электронный микроскоп (ПРЭМ, РПЭМ, редко СТЭМ - сканирующий трансмиссионный электронный микроскоп, англ. scanning transmission electron microscope, STEM) - вид просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ). Как и в любой просвечивающей схеме освещения электроны проходят через весьма тонкий образец. Однако в отличие от традиционной ПЭМ в ПРЭМ электронный пучок фокусируется в точку, которой проводят растровое сканирование.

Обычно ПРЭМ - это традиционный просвечивающий электронный микроскоп, оснащенный дополнительными сканирующими линзами, детекторами и необходимыми схемами, однако также существуют и специализированные ПРЭМ приборы.

История

Первый просвечивающий растровый электронный микроскоп был изобретен бароном Манфредом фон Арденне в 1934 году[1][2], когда работал в Берлине в компании Siemens. Однако, в то время результаты были незначительны по сравнению с просвечивающим электронным микроскопом, и Манфред фон Арденне проработал над ним только 2 года. Микроскоп был уничтожен при воздушной бомбардировке в 1944 году и фон Арденне не вернулся к работе над ним после Второй Мировой Войны[3].

Коррекция аберраций и высокое разрешение

Применение корректора аберраций позволяет получить электронный зонд суб-ангстремного диаметра, что заметно увеличивает разрешение.

Достижение высокого разрешения требует также стабильных комнатных условий. Для получения изображений атомного разрешения комната должна быть ограничена от вибраций, температурных флуктуаций и внешних электромагнитных полей.

Спектроскопия характеристических потерь энергии электронами

СХПЭЭ(EELS) в режиме ПРЭМ стала возможна с добавлением соответствующего спектрометра. Высокоэнергетический сведённый электронный пучок в ПРЭМ несет локальную информацию об образце вплоть до атомного разрешения. Добавление СХПЭЭ позволяет производить определение элементов и даже дополнительные возможности в определении электронной структуры или химических связей атомных колонок.

Рассеянные на малые углы неупругие электроны используются в СХПЭЭ совместно с упруго рассеянными на большие углы электронами в ADF (кольцевой темнопольной ПРЭМ) позволяя получать оба сигнала одновременно.

Данная техника популярна в ПРЭМ микроскопах.


См. также

Ссылки

  1. ↑ von Ardenne, M (1938). "Das Elektronen-Rastermikroskop. Theoretische Grundlagen". Z. Phys. 109 (9—10): 553—572. Bibcode:1938ZPhy..109..553V. doi:10.1007/BF01341584.
  2. ↑ von Ardenne, M (1938). "Das Elektronen-Rastermikroskop. Praktische Ausführung". Z. Tech. Phys. 19: 407—416.
  3. ↑ D. McMullan, SEM 1928 – 1965
Источник — https://ru.wikipedia.org/w/index.php?title=Просвечивающий_растровый_электронный_микроскоп&oldid=103395773