Микроэлектромеханические системы

Материал из Википедии — свободной энциклопедии

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) — технологии и устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. МЭМС устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки^[1] (en:Microfabrication), аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных микросхем. Типичные размеры микромеханических элементов лежат в диапазоне от 1 микрометра до 100 микрометров, тогда как размеры кристалла МЭМС микросхемы имеют размеры от 20 микрометров до одного миллиметра.

В настоящее время МЭМС технологии уже применяются для изготовления различных микросхем. Так, МЭМС-осцилляторы в некоторых применениях заменяют^[2] кварцевые генераторы. МЭМС технологии применяются для создания разнообразных миниатюрных датчиков, таких как акселерометры, датчики угловых скоростей, магнитометрические датчики, барометрические датчики, анализаторы среды (например для оперативного анализа крови).

[править] Примечания

[править] Ссылки

• memswiki.net(англ.)
• MEMS Universe

Это незавершённая статья о технике. Вы можете помочь проекту, исправив и дополнив её. Это примечание по возможности следует заменить более точным.